电子气体是半导体产业制造用的超高纯特种气体,被誉为芯片的“血液”,其纯度要求高,生产难度大,一般电子级的气体要求5N(99.999%)起步,先进制程需6N(99.9999%)甚至更高,一条12寸晶圆线约用50种电子气体,包括氟基、硅基、掺杂类气体等,是半导体制造核心材料。
7月19日北鲲计划——滨化集团电子级高纯氟化氢气体投产暨新产品发布会举行,6N等级(99.9999%)半导体用高纯氟化氢打破垄断,为国内先进制程提供稳定、安全的国产化保障,筑牢我国半导体产业链供应链“安全屏障”!
高纯氟化氢,芯片晶圆制造里的“精密刻刀”。一粒直径不足头发丝万分之一大小的金属尘埃,就足以让整片晶圆报废。电子级氢氟酸,正是芯片制造中看不见的“纯净屏障”。蚀刻硅片、清洗晶圆表面,它的纯度及稳定性,直接关乎芯片的良率与性能。
6N级高纯氟化氢是适配28纳米及以下先进制程的必需品,但就是这么关键的材料,中国长期靠进口。西方垄断6N级高纯氟化氢全球约80%的市场份额。目前市场价格已在200万元/吨以上。“卡脖子”三个字,在半导体领域从来不是比喻。
如今,6N级高纯氟化氢的投产,超高纯电子级氢氟酸的国际先进水平认定,两件事放在一起看,是一个信号:中国在半导体先进制程关键材料领域,正在从“有没有”走向“好不好”。那把被国外垄断了二十多年的“芯片刻刀”,中国人终于也能自己磨了。而且,磨得够锋利。
(羊城晚报•羊城派综合自大众日报、证券时报)